私たちは材料としては半導体を用いています。結晶成長された超高純度半導体ウエハーに対して、リソグラフィーと呼ばれる手法でパターンを作成し、エッチングや金属蒸着などによって各種電極等を取り付けます。リソグラフィーにはフォトリソグラフィと電子線リソグラフィがあり、大まかなパターンはフォトグラフィー、1ミクロン以下の微細なバターンは電子線リソグラフィーで行います。