研究環境の紹介
30
03, 2023
5mK 極低温強磁場システム
5ミリケルビン、12テスラの極低温強磁場環境を導入しました。 私たちの研究室では、ビックバンのような宇宙創成の初期段階で現れるプランクスケールの宇宙である「量子宇宙」の検証を行うためのトイ模型を、半導体チップ上で実現することを目指しています。 […]
1
09, 2021
デバイス作成
研究室での半導体デバイス試作 大学学部生向け半導体デバイスプロセスの紹介です。 https://www.youtube.com/watch?v=yAYOfw2Zkco&ab_channel=Quantum [...]
15
05, 2020
エッチング
研究室での半導体デバイス試作プロセス(3) 現像 大学学部生向け半導体デバイスプロセスの紹介です。今回はレジストの現像を紹介します。 https://www.youtube.com/watch?v=Ic0Yuqc3yoI
15
05, 2020
現像
研究室での半導体デバイス試作プロセス(3) 現像 大学学部生向け半導体デバイスプロセスの紹介です。今回はレジストの現像を紹介します。 https://www.youtube.com/watch?v=1N6XZz7FZJo
12
05, 2020
フォトリソグラフィー
研究室での半導体デバイス試作プロセス(2) フォトリソグラフィー 大学学部生向け半導体デバイスプロセスの紹介です。今回はウエハーにフォトグラフィーでパターニングする方法を紹介します。 https://www.youtube.com/watch?v=VwdlrRQuRkc
12
05, 2020
ウエハーの切り出し
研究室での半導体デバイス試作プロセス(1) ウエハーの切り出し 大学学部生向け半導体デバイスプロセスの紹介です。今回は半導体ウエハー(GaAs)の切り出し方法を紹介します。 https://youtu.be/82c5TCqiNgA
11
05, 2020
11
05, 2020
半導体チップ
半導体デバイスを作成したらこのようなチップキャリアにのせ、電子、ホール、励起子、スカーミオン、核スピンなの粒子/準粒子の研究を行います。多くの場合、このような半導体チップを絶対零度(－273度)付近で測定します。
11
05, 2020
半導体プロセス
私たちは材料としては半導体を用いています。結晶成長された超高純度半導体ウエハーに対して、リソグラフィーと呼ばれる手法でパターンを作成し、エッチングや金属蒸着などによって各種電極等を取り付けます。リソグラフィーにはフォトリソグラフィと電子線リソグラフィがあり、大まかなパターンはフォトグラフィー、1ミクロン以下の微細なバターンは電子線リソグラフィーで行います。